İlk mikrodalga fırın, 1945 yılında Raytheon Corporation'da çalışan, kendi kendini yetiştirmiş bir mühendis olan Percy Spencer tarafından icat edildi. Spencer, radar ekipmanıyla deneyler yaparken mikrodalgaların yiyecekleri hızlı bir şekilde ısıtabildiğini fark etti. Buluşunun patentini 1947'de aldı ve ilk ticari mikrodalga fırın 1947'de piyasaya sürüldü.
Ancak ilk mikrodalga fırınlar çok pahalıydı ve çoğunlukla ticari mutfaklarda kullanılıyordu. Mikrodalga fırınların ev kullanımı için uygun fiyatlı hale gelmesi 1960'lara kadar mümkün değildi. 1967 yılında Amana Corporation ilk tezgah üstü mikrodalga fırını Radarange'ı piyasaya sürdü. Radarange başarılı oldu ve mikrodalga fırınlar hızla Amerikan evlerinde yaygın bir cihaz haline geldi.